Навигация по сайту

Серия TG

Гибридные турбомолекулярные насосы с интегрированными молекулярными ступенями

Характеристики Особенности
- Период между техническими обслуживаниями 20 000 - 30 000 часов
- Расчётный ресурс работы насосов от 100 000 часов (около 50 лет работы при стандартном режиме эксплуатации)
- Высокая эффективность откачки в широком диапазоне давлений
- Высокая быстрота действия при высоких давлениях (больше нет необходимости в использовании двухроторных или бустерных насосов для форвакуумной откачки больших объёмов)
- Доступно коррозионно-стойкое или стандартное исполнение
- Выполнены по стандартам полупроводниковой промышленности
- Быстрота действия форвакуумного насоса может быть уменьшена почти в 40 раз по сравнению с классическими турбомолекулярными насосами без увеличения общего времени откачки системы (экономия за счёт использования форвакуумного насоса меньшей производительности)
- Конструкция устойчивая к прорывам атмосферы
- Встроенная система продувки подшипников
- Интеграция в системы управления процессом с помощью цифрового интерфейса RS 232
- Водяное охлаждение для моделей начиная с TG 553
- Самый большой в мире гибридный насос TG5500 для откачки вакуумных камер большого объёма
- Возможность использования в широком спектре производственных процессов, в том числе в полупроводниковой промышленности и производстве жидкокристалических дисплеев

Вход для клиентов

 

Логин:
Пароль:

Партнеры

Рейтинг@Mail.ru Яндекс.Метрика